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安裝
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雷尼紹自動吸附：PH10M,、PH10MQ或PH6M
可安裝在自動吸附加長桿上
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適合的接口
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可以是：UCC控制器
或：用于未安裝UCC控制器的機器的AC3計算機接口卡
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測頭屬性
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三軸模擬測量 (X, Y, Z)
在XY平面的旋轉運動,，Z方向有平移
SM25-5：在三個軸XYZ方向均有平面平移
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測量范圍
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在X,、Y和Z方向為±0.5 mm
SM25-5：±0.3 mm
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超程范圍
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在X和Y方向為±2.0 mm
+Z方向為1.7 mm
–Z方向為1.2 mm
SM25-5：
±X, ±Y = 0.95 mm
+Z = 1.0 mm
-Z = 1.1 mm
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碰撞保護
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X, Y, –Z — 模塊或測針架折斷
+Z — 內置緩沖塊設計
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分辨率
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使用UCC2子卡或AC3接口卡時< 0.1 μm
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彈簧剛性
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標稱值為0.2 N/mm到0.6 N/mm,，取決于測針長度
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減振
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單個粘性流體減振器
SM25-5：兩個粘性流體減振器
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電源
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測頭為+12 V (±5%),、–12 V (+10% / –8%)、+5 V (+10% / –13%) 直流電
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輸出 (X,Y,Z)
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非線性及非正交模擬輸出 — 速率,、增益和分辨率不固定
SP25M要求使用非線性三次多項式標定,。
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測針系列
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M3
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SP25M模塊和測針架
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