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安裝
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雷尼紹自動(dòng)吸附：PH10M,、PH10MQ或PH6M
可安裝在自動(dòng)吸附加長桿上
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適合的接口
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可以是：UCC控制器
或：用于未安裝UCC控制器的機(jī)器的AC3計(jì)算機(jī)接口卡
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測(cè)頭屬性
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三軸模擬測(cè)量 (X, Y, Z)
在XY平面的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，Z方向有平移
SM25-5：在三個(gè)軸XYZ方向均有平面平移
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測(cè)量范圍
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在X,、Y和Z方向?yàn)椤?.5 mm
SM25-5：±0.3 mm
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超程范圍
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在X和Y方向?yàn)椤?.0 mm
+Z方向?yàn)?.7 mm
–Z方向?yàn)?.2 mm
SM25-5：
±X, ±Y = 0.95 mm
+Z = 1.0 mm
-Z = 1.1 mm
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碰撞保護(hù)
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X, Y, –Z — 模塊或測(cè)針架折斷
+Z — 內(nèi)置緩沖塊設(shè)計(jì)
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分辨率
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使用UCC2子卡或AC3接口卡時(shí)< 0.1 μm
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彈簧剛性
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標(biāo)稱值為0.2 N/mm到0.6 N/mm,，取決于測(cè)針長度
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減振
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單個(gè)粘性流體減振器
SM25-5：兩個(gè)粘性流體減振器
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電源
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測(cè)頭為+12 V (±5%)、–12 V (+10% / –8%),、+5 V (+10% / –13%) 直流電
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輸出 (X,Y,Z)
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非線性及非正交模擬輸出 — 速率,、增益和分辨率不固定
SP25M要求使用非線性三次多項(xiàng)式標(biāo)定。
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測(cè)針系列
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M3
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