1. MCV-5003激光多普勒干涉儀 MCV-5002激光多普勒干涉儀加上RT-100A自動(dòng)測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)而組成MCV-5003激光多普勒干涉儀,。 2. MCV-5003主要測(cè)量功能 1) 直線位移測(cè)量 2) 大型龍門式機(jī)床主動(dòng)軸從動(dòng)軸直線位移同步測(cè)量功能 3) 分軸步進(jìn)對(duì)角線測(cè)量。 4)角偏測(cè)量 5)直線度測(cè)量 6)第四軸,、第五軸回轉(zhuǎn)精度測(cè)量 7)兩導(dǎo)軌平行度測(cè)量
功能選型：激光多普勒干涉儀
MCV-5003激光多普勒干涉儀 獨(dú)特的“雙激光頭分體設(shè)計(jì)”，專為大型五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床開發(fā),。針對(duì)性解決雙驅(qū)動(dòng)類、長(zhǎng)行程類,、五軸聯(lián)動(dòng)類檢測(cè),。涵蓋全部激光干涉儀功能,，是大型機(jī)床研發(fā)制造和大型機(jī)構(gòu)科研計(jì)量的,。適合數(shù)控加工,，數(shù)控車床,、線切割,、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),、大型龍門機(jī)床,。
|
MCV-5003基本技術(shù)參數(shù)
|
激光頻率穩(wěn)定性
|
±0.05ppm
|
|
|
|
氦氖激光管
|
2級(jí)
|
|
|
|
激光輸出功率
|
＜1mW
|
|
|
|
激光管壽命
|
40000小時(shí)
|
|
|
|
空氣溫度傳感器精度
|
±0.1 ℃
|
|
|
|
空氣壓力傳感器精度
|
±1.1mmHg
|
|
|
|
材料溫度傳感器精度
|
±0.1 ℃
|
|
|
|
環(huán)境溫度（濕度）
|
5-38 ℃（0-95％）
|
|
|
|
電源電壓（電源頻率）
|
90-265V（50-60Hz）
|
|
|
線性位移測(cè)量
|
測(cè)量距離
|
≥30m（60m,100m可選）
|
|
|
|
分辨率
|
1nm
|
|
|
|
精度
|
±0.5ppm
|
|
|
|
速度
|
5m /秒
|
|
|
主從動(dòng)軸同步性檢測(cè)
|
數(shù)據(jù)采樣速率
|
1-1000個(gè)數(shù)/秒
|
|
|
角偏(俯仰角,、偏擺角)
|
測(cè)量距離
|
≥30m（60m,100m可選）
|
|
|
|
分辨率
|
0.2秒
|
|
|
|
精度
|
±0.2%±0.2 秒
|
|
|
|
測(cè)量范圍
|
角度：±10 度
|
|
|
|
速度
|
4m /秒
|
|
|
直線度測(cè)量
|
測(cè)量距離
|
≥30m（60m,100m可選）
|
|
|
|
精度
|
±0.2%±0.01 微米
|
|
|
|
測(cè)量范圍
|
±1000 微米
|
|
|
|
速度
|
4m /秒
|
|
|
向量法體對(duì)角線檢測(cè)
|
分辨率
|
1nm
|
|
|
|
精度
|
±0.5ppm
|
|
|
|
測(cè)量范圍
|
3m×2m×1m
|
|
|
|
速度
|
4m /秒
|
|
|
|
可檢測(cè)出機(jī)床3個(gè)定位精度,、6個(gè)直線度、3個(gè)垂直度誤差
|
|
|
垂直度檢測(cè)
|
用SD附件
|
同上
|
|
|
轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量
|
轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量分辨率
|
0.02秒
|
|
|
|
轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量精度
|
1秒
|
|
|
|
測(cè)量范圍
|
0-360度
|
|
|
兩導(dǎo)軌平行度檢測(cè)
|
距離
|
≥30m（60m,100m可選）
|
|
|
分辨率
|
1nm
|
|
|
精度
|
±1ppm
|
|
|
|
|
|
|
|
