1. MCV-5003激光多普勒干涉儀 MCV-5002激光多普勒干涉儀加上RT-100A自動測量轉(zhuǎn)臺而組成MCV-5003激光多普勒干涉儀,。 2. MCV-5003主要測量功能 1) 直線位移測量 2) 大型龍門式機(jī)床主動軸從動軸直線位移同步測量功能 3) 分軸步進(jìn)對角線測量。 4)角偏測量 5)直線度測量 6)第四軸、第五軸回轉(zhuǎn)精度測量 7)兩導(dǎo)軌平行度測量
功能選型：激光多普勒干涉儀
MCV-5003激光多普勒干涉儀 獨(dú)特的“雙激光頭分體設(shè)計(jì)”，專為大型五軸聯(lián)動機(jī)床開發(fā)。針對性解決雙驅(qū)動類,、長行程類、五軸聯(lián)動類檢測。涵蓋全部激光干涉儀功能,，是大型機(jī)床研發(fā)制造和大型機(jī)構(gòu)科研計(jì)量的。適合數(shù)控加工,，數(shù)控車床,、線切割、精密運(yùn)動平臺,、大型龍門機(jī)床,。
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MCV-5003基本技術(shù)參數(shù)
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激光頻率穩(wěn)定性
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±0.05ppm
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氦氖激光管
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2級
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激光輸出功率
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＜1mW
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激光管壽命
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40000小時(shí)
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空氣溫度傳感器精度
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±0.1 ℃
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空氣壓力傳感器精度
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±1.1mmHg
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材料溫度傳感器精度
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±0.1 ℃
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環(huán)境溫度（濕度）
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5-38 ℃（0-95％）
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電源電壓（電源頻率）
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90-265V（50-60Hz）
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線性位移測量
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測量距離
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≥30m（60m,100m可選）
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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速度
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5m /秒
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主從動軸同步性檢測
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數(shù)據(jù)采樣速率
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1-1000個數(shù)/秒
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角偏(俯仰角、偏擺角)
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測量距離
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≥30m（60m,100m可選）
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分辨率
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0.2秒
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精度
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±0.2%±0.2 秒
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測量范圍
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角度：±10 度
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速度
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4m /秒
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直線度測量
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測量距離
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≥30m（60m,100m可選）
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精度
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±0.2%±0.01 微米
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測量范圍
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±1000 微米
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速度
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4m /秒
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向量法體對角線檢測
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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測量范圍
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3m×2m×1m
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速度
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4m /秒
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可檢測出機(jī)床3個定位精度,、6個直線度,、3個垂直度誤差
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垂直度檢測
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用SD附件
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同上
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轉(zhuǎn)臺測量
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轉(zhuǎn)臺測量分辨率
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0.02秒
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轉(zhuǎn)臺測量精度
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1秒
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測量范圍
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0-360度
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兩導(dǎo)軌平行度檢測
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距離
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≥30m（60m,100m可選）
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分辨率
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1nm
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精度
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±1ppm
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