1.MCV-5004激光多普勒干涉儀 MCV-5002激光多普勒干涉儀加上LB-500圓形和非圓形軌跡檢測組件而組成MCV-5004激光多普勒干涉儀。 2. MCV-5004主要測量功能 1) 直線位移測量 2) 大型龍門式機床主動軸從動軸直線位移同步測量功能 3) 分軸步進對角線測量。 4)角偏測量 5)直線度測量 6)圓形和非圓形軌跡檢測(非接觸式球桿儀) 7)兩導(dǎo)軌平行度測量
功能選型:激光多普勒干涉儀
MCV-5004 激光多普勒干涉儀 獨特的“雙激光頭分體設(shè)計”,,專為大型五軸聯(lián)動機床開發(fā)。針對性解決雙驅(qū)動類,、長行程類、五軸聯(lián)動類檢測,。涵蓋全部激光干涉儀功能,,是大型機床研發(fā)制造和大型機構(gòu)科研計量的。適合數(shù)控加工,,數(shù)控車床,、線切割、精密運動平臺,、大型龍門機床,。
MCV-5004基本技術(shù)參數(shù)
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激光頻率穩(wěn)定性
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±0.05ppm
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氦氖激光管
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2級
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激光輸出功率
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<1mW
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激光管壽命
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40000小時
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空氣溫度傳感器精度
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±0.1 ℃
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空氣壓力傳感器精度
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±1.1mmHg
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材料溫度傳感器精度
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±0.1 ℃
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環(huán)境溫度(濕度)
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5-38 ℃(0-95%)
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電源電壓(電源頻率)
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90-265V(50-60Hz)
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線性位移測量
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測量距離
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≥30m(60m,100m可選)
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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速度
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5m /秒
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主從動軸同步性檢測
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數(shù)據(jù)采樣速率
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1-1000個數(shù)/秒
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角偏(俯仰角、偏擺角)
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測量距離
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≥30m(60m,100m可選)
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分辨率
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0.2秒
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精度
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±0.2%±0.2 秒
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測量范圍
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角度:±10 度
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速度
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4m /秒
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直線度測量
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測量距離
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≥30m(60m,100m可選)
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精度
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±0.2%±0.01 微米
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測量范圍
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±1000 微米
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速度
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4m/秒
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向量法體對角線檢測
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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測量范圍
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3m×2m×1m
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速度
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4m/秒
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可檢測出機床3個定位精度,、6個直線度,、3個垂直度誤差
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垂直度檢測
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用SD附件
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同上
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兩導(dǎo)軌平行度檢測
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距離
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≥30m(60m,100m可選)
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分辨率
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1nm
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精度
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±1ppm
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圓形及非圓形軌跡測量
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循圓測量半徑
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1-75毫米
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循圓測量數(shù)據(jù)采樣速率
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1-1000個數(shù)/秒
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循圓測量采樣數(shù)
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25000個數(shù)/圈
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