1.MCV-5005激光多普勒干涉儀 MCV-5002 激光多普勒干涉儀加上RT-100A 自動(dòng)測(cè)量轉(zhuǎn)臺(tái)和二套LB-500 圓形軌跡測(cè)量組件就組成MCV-5005 激光多普勒干涉儀,。它具有MCV-5002 ,、5003 、5004 的全部測(cè)量功能,。 2. MCV-5005主要測(cè)量功能 1) 直線位移測(cè)量 2) 大型龍門(mén)式機(jī)床主動(dòng)軸從動(dòng)軸直線位移同步測(cè)量功能 3) 分軸步進(jìn)對(duì)角線測(cè)量,。 4)角偏測(cè)量 5)直線度測(cè)量 6)圓形和非圓形軌跡檢測(cè)（非接觸式球桿儀） 7)兩導(dǎo)軌平行度測(cè)量 8)第四軸,、第五軸回轉(zhuǎn)精度測(cè)量
功能選型：激光干涉儀
MCV-5005 激光多普勒干涉儀獨(dú)特的“雙激光頭分體設(shè)計(jì)”，專(zhuān)為大型五軸聯(lián)動(dòng)機(jī)床開(kāi)發(fā)。針對(duì)性解決雙驅(qū)動(dòng)類(lèi),、長(zhǎng)行程類(lèi),、五軸聯(lián)動(dòng)類(lèi)檢測(cè)。涵蓋全部激光干涉儀功能,，是大型機(jī)床研發(fā)制造和大型機(jī)構(gòu)科研計(jì)量的,。適合數(shù)控加工，數(shù)控車(chē)床,、線切割,、精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、大型龍門(mén)機(jī)床,。
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MCV-5005基本技術(shù)參數(shù)
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激光頻率穩(wěn)定性
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±0.05ppm
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氦氖激光管
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2級(jí)
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激光輸出功率
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＜1mW
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激光管壽命
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40000小時(shí)
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空氣溫度傳感器精度
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±0.1 ℃
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空氣壓力傳感器精度
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±1.1mmHg
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材料溫度傳感器精度
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±0.1 ℃
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環(huán)境溫度（濕度）
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5-38 ℃（0-95％）
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電源電壓（電源頻率）
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90-265V（50-60Hz）
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線性位移測(cè)量
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測(cè)量距離
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≥30m（60m,100m可選）
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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速度
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5m /秒
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主從動(dòng)軸同步性檢測(cè)
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數(shù)據(jù)采樣速率
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1-1000個(gè)數(shù)/秒
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角偏(俯仰角,、偏擺角)
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測(cè)量距離
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≥30m（60m,100m可選）
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分辨率
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0.2秒
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精度
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±0.2%±0.2 秒
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測(cè)量范圍
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角度：±10 度
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速度
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4m /秒
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直線度測(cè)量
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測(cè)量距離
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≥30m（60m,100m可選）
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精度
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±0.2%±0.01 微米
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測(cè)量范圍
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±1000 微米
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速度
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4m/秒
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向量法體對(duì)角線檢測(cè)
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分辨率
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1nm
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精度
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±0.5ppm
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測(cè)量范圍
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3m×2m×1m
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速度
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4m/秒
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可檢測(cè)出機(jī)床3個(gè)定位精度、6個(gè)直線度,、3個(gè)垂直度誤差
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垂直度檢測(cè)
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用SD附件
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同上
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兩導(dǎo)軌平行度檢測(cè)
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距離
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≥30m（60m,100m可選）
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分辨率
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1nm
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精度
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±1ppm
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圓形及非圓形軌跡測(cè)量
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循圓測(cè)量半徑
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1-75毫米
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循圓測(cè)量數(shù)據(jù)采樣速率
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1-1000個(gè)數(shù)/秒
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循圓測(cè)量采樣數(shù)
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25000個(gè)數(shù)/圈
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轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量
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轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量分辨率
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0.02秒
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轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量精度
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1秒
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測(cè)量范圍
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0-360度
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